Plasma Processing of Semiconductors
SpringerSivumäärä: 613 sivuaAsu: Kovakantinen kirjaPainos: 1997Julkaisuvuosi: 1997, 31.05.1997 (lisätietoa)Kieli: Englanti Plasma Processing of Semiconductors contains 28 contributions from 18 experts and covers plasma etching, plasma deposition, plasma-surface interactions, numerical modelling, plasma diagnostics, less conventional processing applications of plasmas, and industrial applications.
Audience: Coverage ranges from introductory to state of the art, thus the book is suitable for graduate-level students seeking an introduction to the field as well as established workers wishing to broaden or update their knowledge.
Tilaustuote | Arvioimme, että tuote lähetetään meiltä noin 17-20 arkipäivässä