Im Mittelpunkt der Neuauflage dieses Bestsellers steht die Funktionsweise, der Betrieb und die Auswahl von technischer Ausrüstung für die Halbleiter- und optische Industrie im weitesten Sinne. Alle Angaben zu Bauelementen wurden dem aktuellen Stand der Technik angepasst; der Problemkreis des Ultrahochvakuums wird komplett abgedeckt. Ein 500-seitiger Ergänzungsband für Studenten und Dozenten enthält Übungsaufgaben und Lösungen.