Aerospace Press Sivumäärä: 707 sivua Asu: Kovakantinen kirja Julkaisuvuosi: 1999, 31.07.1999 (lisätietoa) Kieli: Englanti
This is a textbook tutorial encompassing MEMS (micro-electromechanical systems), nanoelectronics, packaging, processing and materials characterization for developing miniaturized smart instruments for aerospace systems, satellites and satellite subsystems.