Die moderne chemische Analytik macht in großem Umfang von instrumentellen physika lischen Methoden Gebrauch. Eine der leistungsfähigsten, und in ihrem Anwendungsbereich einzigartigen ist die Röntgenfluoreszenzanalyse (RF A). Sie verdankt dies vor allem den folgenden Eigenschaften: Sie ist zerstörungsfrei und benötigt wenig Probenmaterial. Es ist möglich, nahezu alle chemischen Elemente nachzuweisen; der Anwendungsbereich er~ streckt sich auf feste und flüssige Substanzen der verschiedensten Art. Die Möglichkeiten der RFA sind erst verhältnismäßig spät erkannt und verwirklicht wor den. Obwohl die Röntgenstrahlen bereits 1895 entdeckt worden waren, wurden erst Anfang der fünfziger Jahre brauchbare Analysengeräte auf den Markt gebracht, als die elektronische Meßtechnik genügend weit entwickelt war. Die Methode bürgerte sich ver hältnismäßig rasch ein, wobei zunächst als wesentliche Eigenschaft der RF A die erreich bare hohe Präzision galt. Im Lauf der weiteren Entwicklung gelang es mit Hilfe von sorg fältig ausgearbeiteten Korrekturverfahren eine nahezu ebenbürtige Genauigkeit zu er reichen. War zunächst die Bestimmung von mittleren und hohen Konzentrationen das Hauptanwendungsgebiet, so sind seitdem viele leistungsfähige Verfahren der Element spurenanalytik entwickelt worden. RF A wie kaum eine andere Analysenmethode. Von der Mikroelektronik profitierte die Röntgensequenz-und Simultanspektrometer werden durch Mikrocomputer gesteuert, die oft notwendige umfangreiche Datenverarbeitung erfolgt durch dedizierte Prozeßrechner. Dadurch ist es möglich, bei hohen Anforderungen an die Analysenqualität, Analysen' in großer Zahl wirtschaftlich durchzuführen. In der deutschsprachigen Literatur hat bis jetzt eine zusammenfassendeDarstel1u~g der Röntgenfluoreszenzanalyse gefehlt, die diesem modernen Entwicklungsstand gerecht wird.