William Andrew Sivumäärä: 456 sivua Asu: Kovakantinen kirja Julkaisuvuosi: 1989, 31.12.1989 (lisätietoa) Kieli: Englanti
Deals with ion beam processing for basic sputter etching of samples, sputter deposition of thin films, the synthesis of material in thin film form, and the modification of the properties of thin films.