Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) befinden sich derzeit in der Entwicklung, inbesondere im Hinblick auf einen Einsatz in der Telekommunikation. Potentiell können solche Systeme mit wenig oder keiner Leistung betrieben werden. Die Grundlagen von Hochfrequenz-MEMS werden in diesem Buch erläutert, wobei auch auf praktische Aspekte des Schaltkreisentwurfs eingegangen wird. Auch Switches, Phasenschieber, Varaktoren und Oszillatoren werden beschrieben. Herstellungs- und Verpackungstechniken werden gleichermaßen erläutert.